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Area Semiconductor devices and integrated circuits / Processing semiconductor materials

IEV ref521-03-15

en
vapour-phase deposition technique
deposition of conducting, insulating or semiconducting films on to solid substrates from a source material in the vapour phase by physical deposition or chemical reaction

fr
dépôt en phase vapeur, m
dépôt de couches métalliques, isolantes ou semiconductrices sur des substrats solides à partir d'une source de matériau en phase vapeur par dépôt physique ou par réaction chimique

ar
تقنية الترسيب بالطور البخارى

de
Abscheidung aus der Gasphase, f

es
deposición en fase vapor

fi
höyryfaasikasvatus

it
deposizione da fase-vapore

ko
증기상 증착 기술

ja
気相成長技術

pl
osadzanie z fazy lotnej

pt
depósito em fase vapor

sr
техника распоређивања из парне фазе, ж јд

sv
ångfasdeponering

zh
汽相淀积工艺

Publication date: 2002-05
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