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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / General

IEV ref 523-01-01

en
MEMS
micro-electromechanical system
system composed of one or more integrated microsized components, such as sensors, actuators, transducers, resonators, oscillators, mechanical components, or electric circuits

Note 1 to entry: In the definition, "microsized" is used to mean a size of less than a few millimetres.

Note 2 to entry: Technologies relating to MEMS are extremely diverse and include fundamental technologies (such as design, material, processing, functional element, system control, energy supply, bonding and assembly, electric circuit, and evaluation), basic sciences (such as micro-science and engineering) as well as thermodynamics on a micro-scale and microtribology.

Note 3 to entry: "MEMS" is the acronym of "micro-electromechanical systems", but was used in the past for "micro-electromechanical device". The singular and plural forms of the term "MEMS" are identical.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.1.1, modified – The preferred term "micro-electromechanical device" has been replaced by "micro-electromechanical system" to reflect current usage. Note 1 to entry has been revised for clarity, and the second sentence has been transferred to Note 2 to entry.]


fr
MEMS, m
système microélectromécanique, m
système constitué d’un ou plusieurs composants microminiaturisés intégrés, tels que des capteurs, des actionneurs, des transducteurs, des résonateurs, des oscillateurs, des composants mécaniques, ou des circuits électriques

Note 1 à l’article: Dans la définition, “microminiaturisé” est employé pour désigner une dimension inférieure à quelques millimètres.

Note 2 à l’article: L'étendue des technologies associées aux MEMS est extrêmement vaste et inclut des technologies fondamentales (telles que la conception, les matériaux, le traitement, les éléments fonctionnels, les commandes systèmes, l'alimentation énergétique, les collages et les assemblages, les circuits électriques et l'appréciation), des sciences fondamentales (telles que les microsciences et microtechniques) ainsi que la thermodynamique à l'échelle microscopique et la microtribologie.

Note 3 à l’article: "MEMS" est l’acronyme de l’anglais "micro-electromechanical systems", qui était utilisé pour un dispositif microélectromécanique. Les formes singulier et pluriel du terme "MEMS" sont identiques.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.1.1, modifié – Le terme préféré "dispositif microélectromécanique" a été remplacé par "système microélectromécanique", conformément à l'usage actuel. La Note 1 à l'article a été révisée pour plus de clarté, et la deuxième phrase a été transférée à la Note 2 à l'article.]


ar
نظام كهرو ميكانيكى متناهى الصغر

de
mikroelektromechanisches System, n
MEMS

ko
미세전기기계시스템

ja
MEMS

pl
MEMS
urządzenie mikroelektromechaniczne, n
mikrourządzenie elektromechaniczne, n
mikroukład elektromechaniczny, m

pt
MEMS
sistema microeletromecânico

zh
微机电系统

Publication date: 2019-10
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