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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-02

en
integrated microprobe
one-piece probe combining a microprobe and a signal processing circuit

Note 1 to entry: The smaller the sensitive part of the sensor, 1) the less interference with the measuring object, 2) the higher the signal-to-noise ratio in the measurement, and 3) the more small-area local data can be obtained. An integrated microprobe is a device consisting of a microprobe prepared by micromachining silicon to an ultra-microscopic needle and incorporating a signal processing circuit. Integrated microprobes, made by machining silicon needles to a diameter of from several nanometres to several micrometres and combining them with an impedance conversion circuit, etc., are in actual use as microscopic electrodes for organisms, scanning tunnelling microscopes (STMs), and atomic force microscopes (AFMs).


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.12]


fr
microsonde intégrée, f
sonde combinant en une pièce une microsonde et un circuit de traitement de signal

Note 1 à l’article: Plus la partie sensible du capteur est petite, 1) moins l’objet de mesure connaît de perturbations; 2) plus le rapport signal sur bruit de la mesure est élevé; 3) plus il est possible d'obtenir des données locales de petite zone. Une microsonde intégrée est un dispositif constitué d’une microsonde préparée par micro-usinage du silicium sous la forme d'une aiguille microscopique et incorporant un circuit de traitement de signal. Les microsondes intégrées réalisées en usinant les aiguilles de silicium selon un diamètre compris entre plusieurs nanomètres et plusieurs micromètres et en les combinant avec un circuit de conversion d’impédance, etc., sont exploitées comme électrodes microscopiques pour les organismes, les microscopes à effet tunnel à balayage (STM), et les microscopes à force atomique (AFM).


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.12]


de
integrierte Mikrosonde, f

ja
集積化マイクロプローブ

pl
zintegrowana mikrosonda, f

pt
microssonda integrada

zh
集成式微探针

Publication date: 2018-12
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