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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-05

en
diaphragm structure
flexible membrane structure that separates space

Note 1 to entry: In a microscopic region, materials such as single-crystal silicon, polysilicon, and so on are used for the diaphragm structure. The structure is commonly fabricated by anisotropic etching. The thickness of the structure can be controlled from several micrometres to several tens of micrometres depending on the application. The structure can be used to detect pressure changes, or to cause displacement. For example, it is used in the pressure-sensitive part of a pressure sensor for automobile engines and silicon microphones. Also, it is used as a membrane to change pressure in microvalves and micropumps.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.16]


fr
structure de diaphragme, f
structure de membrane flexible qui sépare l’espace

Note 1 à l’article: Dans une région microscopique, des matériaux tels que le silicium cristallin, le polysilicium, entre autres, sont utilisés pour la structure de diaphragme. La structure est généralement fabriquée par gravure anisotrope. L’épaisseur de la structure peut être contrôlée entre quelques micromètres et plusieurs dizaines de micromètres, en fonction de l’application. La structure peut être utilisée pour détecter les variations de pression ou pour provoquer un déplacement. Par exemple, elle est utilisée dans la partie sensible à la pression d’un capteur de pression pour les moteurs d’automobile et les microphones à membrane de silicium. De même, elle est utilisée comme membrane pour modifier la pression des microvannes et micropompes.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.16]


de
Membran, f

ja
ダイアフラム構造

pl
membrana, f

pt
estrutura de diafragma

zh
膜结构

Publication date: 2018-12
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