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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-12

en
comb-drive actuator
electrostatic actuator, consisting of a series of parallel fingers, fixed in position, engaged and interleaved with a second, movable set of fingers

Note 1 to entry: The application of an electrostatic charge to the first set of fingers attracts the fingers of the second set, such that they become more fully engaged in the interdigit spaces of the first set. Then the static charge is removed and drained, and the second set of fingers is returned to its home position by micromachined spring tension.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.8]


fr
actionneur microrésonateur, m
actionneur électrostatique, constitué d’une série de doigts parallèles, en position fixe, engagés et entrelacés avec un second ensemble de doigts mobiles

Note 1 à l’article: L’application d’une charge électrostatique à la première série de doigts attire les doigts de la seconde série, de sorte qu’ils s'insèrent plus à fond dans les espaces interdigitaux de la première série. La charge statique est alors enlevée et évacuée, et la seconde série de doigts revient à sa position initiale par la tension du ressort micro-usiné.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.8]


de
Kamm-Antrieb, m

ja
くし(櫛)歯状アクチュエータ

pl
aktuator grzebieniowy, m

pt
atuador microrressoador

zh
梳状驱动执行器

Publication date: 2018-12
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