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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-13

en
scanning mirror
mirror that scans a light beam

Note 1 to entry: Scanning mirrors are developed for laser printers, the scanning parts of optical sensors, the heads for optical disks, displays and so on. An array of scanning mirrors can be fabricated on a silicon wafer with an actuator by micromachining technology.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.20, modified – "The scanning mirror is expected to be one of the practical applications of micromachine technology." omitted from Note 1 to entry]


fr
miroir de balayage, m
miroir qui balaie un faisceau de lumière

Note 1 à l’article: Les miroirs de balayage sont développés pour les imprimantes laser, les parties de balayage des capteurs optiques, les têtes de lecture pour les disques optiques, les afficheurs, entre autres. Un ensemble de miroirs de balayage peut être fabriqué sur une tranche de silicium avec un actionneur, grâce à la technologie de micro-usinage.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.20, modifié – "Le miroir de balayage est susceptible d'être l’une des applications pratiques de la technologie des micromachines." omis de la Note 1 à l’article]


de
Scannerspiegel, m

ja
走査ミラー

pl
zwierciadło skanujące, n

pt
espelho de varrimento

zh
扫描镜

Publication date: 2018-12
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