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Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-16

en
micropump
mechanical device that pressurizes and thus transports a small amount of fluid

Note 1 to entry: There are many examples of micropumps mainly fabricated on silicon or glass, for instance, and using micromachining technology to form a diaphragm together with an actuator. Application examples include a diaphragm-type pump with a microscopic check valve driven by a piezoelectric element, and an integrated pump using a thermal expansion actuator along with a microheater. Pumps discharging and sucking fluids by deforming a diaphragm actuated by a stacked piezoelectric actuator can control the rate by changing the frequency of the actuator drive. In addition, pulsation-damping pumps can control the fluid flow with a high accuracy by using a dual pump along with a synchronous buffer pump.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.24]


fr
micropompe, f
dispositif mécanique qui maintient sous pression et ainsi transporte une petite quantité de fluide

Note 1 à l’article: Il existe de nombreux exemples de micropompes principalement fabriquées à base de silicium ou de verre, par exemple, et utilisant la technologie de micro-usinage pour former un diaphragme ainsi qu’un actionneur. Peuvent être citées à titre d'exemples d’application une pompe de type diaphragme, avec un clapet de non-retour microscopique entraîné par un élément piézoélectrique, et une pompe intégrée utilisant un actionneur à dilatation thermique ainsi qu’un microchauffage. Les pompes déchargeant et aspirant les fluides en déformant un diaphragme actionné par un actionneur piézoélectrique à empilement peuvent commander le débit en modifiant la fréquence de l’entraînement de l’actionneur. De plus, les pompes d’amortissement des pulsations peuvent commander le flux de fluide avec grande précision en utilisant une double pompe ainsi qu’une pompe tampon synchrone.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.24]


de
Mikropumpe, f

ja
マイクロポンプ

pl
mikropompa, f

pt
microbomba

zh
微泵

Publication date: 2018-12
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