Queries, comments, suggestions? Please contact us.



Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Functional elements

IEV ref 523-04-25

en
CMOS MEMS
integrated MEMS device, in which complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) signal-processing circuits and MEMS elements are formed on the same silicon substrate

Note 1 to entry: CMOS MEMS is one form of the MEMS device that integrates CMOS signal-processing circuits and MEMS elements. Usually, the CMOS MEMS is fabricated by performing a MEMS process on the CMOS preformed wafer, and therefore it is necessary that the MEMS process does not damage the CMOS circuit.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.26]


fr
MEMS CMOS, m
dispositif à MEMS intégré, dans lequel des circuits de traitement de signal à semiconducteurs à oxyde métallique complémentaires (CMOS, complementary metal-oxide-semiconductor) et des éléments MEMS sont formés sur le même substrat en silicium

Note 1 à l’article: Le MEMS CMOS est une forme de dispositif à MEMS qui intègre des circuits de traitement de signal CMOS et des éléments MEMS. Généralement, un MEMS CMOS est fabriqué en réalisant un MEMS sur une tranche CMOS préformée. Il est donc nécessaire que le procédé MEMS n'endommage pas le circuit CMOS.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.4.26]


de
CMOS-MEMS-Bauelement, n
CMOS-MEMS, n

ja
CMOS MEMS

pl
układ MEMS zintegrowany na tym samym podłożu z elementów CMOS i MEMS, m

pt
MEMS CMOS

zh
互补金属氧化物半导体微机电系统
CMOS微机电系统
CMOS MEMS

Publication date: 2018-12
Copyright © IEC 2021. All Rights Reserved.