Queries, comments, suggestions? Please contact us.



Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Machining technology

IEV ref 523-05-03

en
bulk micromachining
micromachining that removes a part of the substrate

Note 1 to entry: An example of bulk micromachining is a processing method based on etching by a chemical solution to remove unnecessary parts of a substrate. Covering the areas to be preserved with a mask of SiO2 or Si3N4 ensures that etching cannot progress below the surface. Also, a boron-doped layer can stop the etching of the part below the surface layer. Recently, silicon fusion bonding has been used to fabricate still more complex structures.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.5]


fr
micro-usinage de volume, m
procédé de micro-usinage consistant à enlever une partie du substrat

Note 1 à l’article: Peut être citée à titre d’exemple de micro-usinage de volume une méthode de traitement fondée sur la gravure par solution chimique pour enlever les parties inutiles d’un substrat. Le fait de couvrir les zones à préserver avec un masque de SiO2 ou Si3N4 assure que la gravure ne peut pas progresser hors de la surface. De même, une couche dopée au bore peut limiter la gravure à la partie située sous la couche en surface. Récemment, le collage par fusion du silicium a été utilisé pour fabriquer des structures encore plus complexes.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.5]


de
Volumen-Mikromechanik, f
Bulk-Silizium-Mikromechanik, f
mikrostrukturelles Volumen-Fertigungsverfahren, n

ja
バルク微細加工

pl
mikroobróbka objętościowa, f

pt
micromaquinagem de volume
micromaquinagem volumétrica

zh
体微加工

Publication date: 2018-12
Copyright © IEC 2021. All Rights Reserved.