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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref561-07-12

en
FPD
focal plane deviation
maximum distance between a point on the wafer surface (within the fixed quality area) and the focal plane

Note 1 to entry: If that point is above the reference, the focal plane deviation is positive. If that point is below the reference plane, the focal plane deviation is negative


fr
EPF (abréviation) m
écart de plan focal, m
distance maximale entre un point de la surface de la plaquette (à l’intérieur de la zone de qualité fixe) et le plan focal

Note 1 à l’article: Si ce point est au-dessus de la référence, l’écart de plan focal est positif. Si ce point est au-dessous de la référence, l’écart de plan focal est negatif.


ar
إنحراف المستوى البؤرى

de
Abweichung der Brennebene, f

es
FPD

it
FPD
scarto del piano focale

ko
에프피디
초점 면 편차

ja
FPD

pl
odchylenie płaszczyzny ogniskowej, n
FPD

pt
desvio de plano focal

zh
焦平面偏差
FPD

Publication date: 2014-11
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