Note 1 to entry: A site map example is shown in Figure 23. The value is always a positive number and is defined for each site as the difference between the highest and lowest points within each site, as shown in Figure 24. For a wafer to meet a local thickness variation specification, all sites must have local thickness variation values less than the specified value.

Note 2 to entry: This note applies to the French language only.

NOTE All sites have their centres within the fixed quality area.

Figure 23 – Example of site distribution for local thickness variation measurement

NOTE Local thickness variation is a positive number.

Figure 24 – Local thickness variation measured at each site

Note 1 à l’article: Un exemple de plan du site est présenté dans la Figure 23. La valeur est toujours un nombre positif. Elle est définie pour chaque site comme la différence entre les points le plus élevé et le plus bas à l’intérieur de chaque site (voir Figure 24). Pour qu’une plaquette réponde à une spécification de variation locale de l’épaisseur, les valeurs de variation locale de l’épaisseur de tous les sites doivent être inférieures à la valeur spécifiée.

Note 2 à l'article: L’abréviation «LTV» est dérivée du terme anglais développé correspondant «local thickness variation».

NOTE Le centre de tous les sites se trouve à l’intérieur de la zone de qualité fixe.

Figure 23 – Exemple de distribution de site pour la mesure variation locale de l’épaisseur

NOTE La variation locale de l’épaisseur est un nombre positif.

Figure 24 – Variation locale de l’épaisseur mesurée au niveau de chaque site