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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref561-07-27

en
reference plane
plane used as a reference for spatial measurements

Note 1 to entry: The reference plane may be one of the following types:

  1. for clamped measurements, the flat chuck surface that contacts the back surface of the wafer;
  2. three points at specified locations on the front surface within the fixed quality area;
  3. the least-squares fit to the front surface using all measured points within the fixed quality area;
  4. the least-squares fit to the front surface using all measured points within one site.

fr
plan de référence, m
plan utilisé comme référence pour les mesures spatiales

Note 1 à l'article: Le plan de référence peut être un des types suivants :

  1. pour les mesures sous contrainte, de la surface plane d’une broche en contact avec la surface arrière de la plaquette;
  2. de trois points en des endroits précis de la surface avant à l’intérieur de la zone de qualité fixe;
  3. de l’ajustement des moindres carrés à la surface avant à l’aide de tous les points mesurés à l’intérieur de la zone de qualité fixe;
  4. de l’ajustement des moindres carrés à la surface avant à l’aide de tous les points mesurés à l’intérieur d’un site.

ar
المستوى المرجعى

de
Bezugsebene, f
Referenzebene, f

es
plano de referencia

it
piano di riferimento

ko
기준면

ja
基準面

pl
płaszczyzna odniesienia , f

pt
plano de referência

zh
参考平面

Publication date: 2014-11
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