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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref561-07-36

en
thickness variation for five points
TV5
measure of wafer thickness variation, defined as the maximum difference between five thickness measurements

Note 1 to entry: Thickness is measured at the centre of the wafer and at four peripheral points as shown in Figure 25.

Figure 25 – Wafer indication and measurement points for the thickness variation for five points


fr
variation d’épaisseur pour cinq points, f
VE5 (abréviation) f
mesure de la variation de l’épaisseur de la plaquette, définie comme étant la différence maximale entre cinq mesures d’épaisseur

Note 1 à l’article: L’épaisseur est mesurée au centre de la plaquette et en quatre points périphériques comme présenté à la Figure 25.

Figure 25 – Indication de la plaquette et points de mesure de variation de l’épaisseur pour cinq points


ar
تباين السمك لخمس نقاط

de
Schwankung der Dicke an fünf Punkten, f
TV5

es
variación de espesor para cinco puntos

it
variazione dello spessore per cinque punti
TV5

ko
5점 두께 변화

ja
TV5

pl
zmienność grubości dla pięciu punktów, f
TV5

pt
variação de espessura para cinco pontos

zh
五点厚度偏差
TV5

Publication date: 2014-11
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