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Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices |
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| IEV ref |
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561-07-36 |
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en |
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thickness variation for five points
TV5 |
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measure of wafer thickness variation, defined as the maximum difference between five thickness measurements Note 1 to entry: Thickness is measured at the centre of the wafer and at four peripheral points as shown in Figure 25. 
Figure 25 – Wafer indication and measurement points for the thickness variation for five points |
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fr |
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variation d’épaisseur pour cinq points, f
VE5 (abréviation) f |
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mesure de la variation de l’épaisseur de la plaquette, définie comme étant la différence maximale entre cinq mesures d’épaisseur Note 1 à l’article: L’épaisseur est mesurée au centre de la plaquette et en quatre points périphériques comme présenté à la Figure 25. 
Figure 25 – Indication de la plaquette et points de mesure de variation de l’épaisseur pour cinq points |
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ar |
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تباين السمك لخمس نقاط |
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de |
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Schwankung der Dicke an fünf Punkten, f
TV5 |
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es |
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variación de espesor para cinco puntos |
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it |
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variazione dello spessore per cinque punti
TV5 |
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ko |
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5점 두께 변화 |
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ja |
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TV5 |
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pl |
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zmienność grubości dla pięciu punktów, f
TV5 |
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pt |
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variação de espessura para cinco pontos |
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zh |
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五点厚度偏差
TV5 |