Area |
 |
Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices |
 |
|
IEV ref |
 |
561-07-36 |
 |
|
en |
 |
thickness variation for five points TV5 |
 |
 |
measure of wafer thickness variation, defined as the maximum difference between five thickness measurements Note 1 to entry: Thickness is measured at the centre of the wafer and at four peripheral points as shown in Figure 25.
Figure 25 – Wafer indication and measurement points for the thickness variation for five points |
 |
|
fr |
 |
variation d’épaisseur pour cinq points, f VE5 (abréviation) f |
 |
 |
mesure de la variation de l’épaisseur de la plaquette, définie comme étant la différence maximale entre cinq mesures d’épaisseur Note 1 à l’article: L’épaisseur est mesurée au centre de la plaquette et en quatre points périphériques comme présenté à la Figure 25.
Figure 25 – Indication de la plaquette et points de mesure de variation de l’épaisseur pour cinq points |
 |
|
ar |
 |
تباين السمك لخمس نقاط |
|
de |
 |
Schwankung der Dicke an fünf Punkten, f TV5 |
|
es |
 |
variación de espesor para cinco puntos |
|
it |
 |
variazione dello spessore per cinque punti TV5 |
|
ko |
 |
5점 두께 변화 |
|
ja |
 |
TV5 |
|
pl |
 |
zmienność grubości dla pięciu punktów, f TV5 |
|
pt |
 |
variação de espessura para cinco pontos |
|
zh |
 |
五点厚度偏差 TV5 |