Note 1 to entry: Thickness is measured at the centre of the wafer and at four peripheral points as shown in Figure 25.

Figure 25 – Wafer indication and measurement points for the thickness variation for five points

Note 1 à l’article: L’épaisseur est mesurée au centre de la plaquette et en quatre points périphériques comme présenté à la Figure 25.

Figure 25 – Indication de la plaquette et points de mesure de variation de l’épaisseur pour cinq points