 | | deformation of an unclamped wafer, defined as the maximum difference between a point on the front surface and a reference plane 
Figure 27 – Schematic diagram of warp Note 1 to entry: The reference plane is defined by three points as described in 561-07-27, Note 1 to entry, item 2. Warp is a bulk property of a wafer and not of the exposed surface alone. | |
| | déformation d’une plaquette non serrée, définie comme la différence maximale entre un point de la surface avant et un plan de référence 
Figure 27 – Diagramme schématique du gauchissement Note 1 à l’article: Le plan de référence est défini par trois points, comme indiqué en 561-07-27, Note 1 à l’article, énumération 2. Le gauchissement est une propriété générale d’une plaquette et non pas de la surface exposée seule. | |