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Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices |
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| IEV ref |
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561-07-21 |
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en |
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percent local thickness variation
PLTV |
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percentage of sites whose local thickness variation values fall within the specified value
Note 1 to entry: As with the LTV, measurement is performed on a clamped wafer with the reference plane defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 1. |
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fr |
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pourcentage de variation locale d’épaisseur, m
PLTV, m |
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pourcentage de sites dont les valeurs de la variation locale d’épaisseur sont parmi les valeurs spécifiées
Note 1 à l’article: Comme pour la LTV, la mesure est effectuée sur une plaquette serrée avec le plan de référence défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 1. |
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ar |
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النسبة المئوية لتباين السمك الموضعى |
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de |
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prozentuale lokale Dickenschwankung, f
PLTV |
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es |
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variación de espesor local porcentual |
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it |
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percentuale di variazione locale dello spessore
PLTV |
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ko |
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국소 두께 변화 백분율 |
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ja |
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PLTV |
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pl |
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zmiana procentowa grubości miejscowej , f
PLTV |
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pt |
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percentagem de variação local de espessura |
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zh |
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局部厚度偏差率
PLTV |