International

Electrotechnical

Area		Semiconductor devices and integrated circuits / Processing semiconductor materials

IEV ref		521-03-15

en		vapour-phase deposition technique
		deposition of conducting, insulating or semiconducting films on to solid substrates from a source material in the vapour phase by physical deposition or chemical reaction

fr		dépôt en phase vapeur, m
		dépôt de couches métalliques, isolantes ou semiconductrices sur des substrats solides à partir d'une source de matériau en phase vapeur par dépôt physique ou par réaction chimique

ar		تقنية الترسيب بالطور البخارى

de		Abscheidung aus der Gasphase, f

es		deposición en fase vapor

fi		höyryfaasikasvatus

it		deposizione da fase-vapore

ko		증기상 증착 기술

ja		気相成長技術

pl		osadzanie z fazy lotnej

pt		depósito em fase vapor

sr		техника распоређивања из парне фазе, ж јд

sv		ångfasdeponering

zh		汽相淀积工艺

Publication date: 2002-05