Area |
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Micro-electromechanical systems (MEMS) / Machining technology |
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IEV ref |
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523-05-14 |
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en |
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inductively coupled plasma ICP |
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high-density plasma generated by a high-intensity inductively coupled electromagnetic field
Note 1 to entry: Inductively coupled plasma is used in etching processes such as deep reactive ion etching.
Note 2 to entry: This note applies to the French language only. |
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[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.30, modified – In the definition, "inductive coupling" has been replaced by "a high-intensity inductively coupled electromagnetic field".] |
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fr |
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plasma à couplage inductif, m ICP, m |
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plasma haute densité produit par un champ électromagnétique à haute intensité couplé inductivement
Note 1 à l’article: Le plasma à couplage inductif est utilisé dans les procédés de gravure tels que la gravure ionique réactive profonde.
Note 2 à l’article: Le terme abrégé "ICP" est dérivé du terme anglais développé correspondant "inductively coupled plasma". |
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[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.30, modifié – Dans la définition, "couplage inductif" a été remplacé par "un champ électromagnétique à haute intensité couplé inductivement".] |
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cs |
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indukčně zdvojené plazma ICP |
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de |
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induktiv gekoppeltes Plasma, n ICP |
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ja |
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誘導結合型プラズマ |
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nl |
be |
inductief gekoppeld plasma, n ICP, n |
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pl |
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plazma sprzężona indukcyjnie, f ICP |
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pt |
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plasma com acoplamento por indução ICP |
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zh |
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电感耦合等离子体 ICP |