Queries, comments, suggestions? Please contact us.



Area Micro-electromechanical systems (MEMS) / Measurement technology

IEV ref 523-07-01

en
scanning probe microscope
SPM
microscope that uses a probe with a tip of atomic scale and scans it in a raster pattern close to the specimen for measuring physical quantities between the probe and the surface to obtain an image

Note 1 to entry: By approaching a sharply pointed probe tip to the surface of the specimen, various physical forces that work between the probe and the specimen can be measured at the resolution of an atomic scale. In general, the probe is moved over the surface of the specimen in a raster pattern while maintaining the measured physical quantity at a constant value, and the displacement of the probe in so doing is used as the data for drawing a fine image of the specimen. This is the common principle of different types of scanning probe microscope, i.e. the scanning tunnel microscope, atomic force microscope, electrostatic force microscope, scanning ion microscope, scanning magnetic field microscope, scanning temperature microscope, and scanning friction force microscope.

Note 2 to entry: This note applies to the French language only.


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.7.1]


fr
microscope sonde à balayage, m
SPM, m
tout microscope utilisant une sonde avec une pointe d’échelle atomique et qui la balaie dans une configuration de trame près du spécimen pour la mesure des grandeurs physiques entre la sonde et la surface en vue d’obtenir une image

Note 1 à l’article: En approchant une pointe de sonde très pointue de la surface du spécimen, diverses forces physiques qui travaillent entre la sonde et le spécimen peuvent être mesurées à une résolution d’échelle atomique. En général, la sonde est déplacée sur la surface du spécimen dans une configuration de trame tout en gardant la grandeur physique mesurée à un niveau constant, et ce faisant le déplacement de la sonde est utilisé pour fournir les données permettant de dessiner une image fine du spécimen. Il s’agit du principe commun de différents types de microscopes sondes à balayage, c’est-à-dire le microscope à effet tunnel à balayage, le microscope à force atomique, le microscope à force électrostatique, le microscope ionique à balayage, le microscope à champ magnétique à balayage, le microscope à température à balayage et le microscope à force de friction à balayage.

Note 2 à l’article: Le terme abrégé "SPM" est dérivé du terme anglais développé correspondant "scanning probe microscope".


[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.7.1]


de
Rastersondenmikroskop, n
RSM
SPM

ja
走査プローブ顕微鏡
SPM

nl BE
scansonde microscoop, m
SPM, m

pl
mikroskop z sondą skanującą, m
SPM

pt
microscópio de sonda de varrimento
SPM

zh
扫描探针显微镜
SPM

Publication date: 2018-12
Copyright © IEC 2021. All Rights Reserved.