Queries, comments, suggestions? Please contact us.



Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref 561-07-12

en
focal plane deviation
FPD
maximum distance between a point on the wafer surface within the fixed quality area and the three-point reference plane

Note 1 to entry: The three-point reference plane is defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 2.

Note 2 to entry: If the point on the wafer surface is above the three-point reference plane, the FPD is positive. If that point is below the three-point reference plane, the FPD is negative.


fr
écart par rapport au plan focal, m
FPD, m
distance maximale entre un point à la surface de la plaquette à l’intérieur de la zone de qualité fixe et le plan de référence à trois points

Note 1 à l’article: Le plan de référence à trois points est défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 2.

Note 2 à l’article: Si le point à la surface de la plaquette est au-dessus du plan de référence, le FPD est positif. Si ce point est au-dessous du plan de référence, le FPD est négatif.


ar
إنحراف المستوى البؤرى

de
Abweichung der Brennebene, f

es
FPD

it
FPD
scarto del piano focale

ko
에프피디
초점 면 편차

ja
FPD

pl
odchylenie płaszczyzny ogniskowej, n
FPD

pt
desvio de plano focal

zh
焦平面偏差
FPD

Publication date: 2021-08
Copyright © IEC 2021. All Rights Reserved.