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Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices |
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| IEV ref |
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561-07-12 |
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en |
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focal plane deviation
FPD |
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maximum distance between a point on the wafer surface within the fixed quality area and the three-point reference plane
Note 1 to entry: The three-point reference plane is defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 2.
Note 2 to entry: If the point on the wafer surface is above the three-point reference plane, the FPD is positive. If that point is below the three-point reference plane, the FPD is negative. |
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fr |
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écart par rapport au plan focal, m
FPD, m |
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distance maximale entre un point à la surface de la plaquette à l’intérieur de la zone de qualité fixe et le plan de référence à trois points
Note 1 à l’article: Le plan de référence à trois points est défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 2.
Note 2 à l’article: Si le point à la surface de la plaquette est au-dessus du plan de référence, le FPD est positif. Si ce point est au-dessous du plan de référence, le FPD est négatif. |
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ar |
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إنحراف المستوى البؤرى |
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de |
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Abweichung der Brennebene, f |
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es |
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FPD |
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it |
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FPD
scarto del piano focale |
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ko |
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에프피디
초점 면 편차 |
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ja |
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FPD |
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pl |
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odchylenie płaszczyzny ogniskowej, n
FPD |
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pt |
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desvio de plano focal |
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zh |
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焦平面偏差
FPD |