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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref 561-07-18

en
local thickness variation
LTV
difference between the maximum value and the minimum value of a wafer thickness at each site of the wafer surface

Note 1 to entry: All sites existing within the FQA on the wafer surface possess their own LTV value.

Note 2 to entry: Measurement is performed on a clamped wafer with the reference plane as defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 1. An example of the distribution of sites for measurement of the LTV is shown in Figure 1. The LTV is defined within each site, as illustrated in Figure 2.

Figure 1 – Example of the distribution of sites for measurement of the LTV

Figure 2 – LTV defined within each site on the wafer surface


fr
variation locale de d’épaisseur, f
LTV, f
différence entre la valeur maximale et la valeur minimale de l’épaisseur d’une plaquette à chaque site de la surface d’une plaquette

Note 1 à l’article: Tous les sites existants à l’intérieur de la FQA à la surface de la plaquette ont leur propre valeur de LTV.

Note 2 à l'article: La mesure est effectuée sur une plaquette serrée avec le plan de référence défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 1. Un exemple de distribution des sites pour la mesure de la LTV est indiqué sur la Figure 1. La LTV est définie en chaque site comme illustré par la Figure 2.

Figure 1 – Exemple de distribution des sites pour la mesure de la LTV

Figure 2 – LTV définie en chaque site à la surface d’une plaquette


ar
تباين السمك الموضعى

de
lokale Dickenschwankung, f
LTV

es
LTV

it
LTV
variazione locale dello spessore

ko
엘티 브이
국소 두께 변화

ja
LTV

pl
zmiana grubości lokalna, f
LVT

pt
variação local de espessura

zh
局部厚度偏差
LTV

Publication date: 2021-08
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