| Area |
 |
Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices |
|
|
| IEV ref |
|
561-07-37 |
|
|
en |
|
total thickness variation
TTV |
|
|
difference between the maximum thickness d1 and the minimum thickness d2 of a wafer as shown in Figure 1
Figure 1 – Schematic diagram of a TTV
Note 1 to entry: Measurement of TTV is performed on a clamped wafer with the reference plane as defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 1. |
|
|
fr |
|
variation totale d’épaisseur, f
TTV, f |
|
|
différence entre l’épaisseur maximale d1 et l’épaisseur minimale d2 d’une plaquette, comme indiqué Figure 1
Figure 1 – Représentation schématique d'une TTV
Note 1 à l’article: La mesure de la TTV est effectuée sur une plaquette serrée avec le plan de référence défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, énumération point 1. |
|
|
ar |
|
تباين السمك الكلى |
|
de |
|
Gesamtdickenschwankung, f
TTV |
|
es |
|
variación de espesor total |
|
it |
|
variazione totale dello spessore
TTV |
|
ko |
|
총 두께 변화 |
|
ja |
|
TTV |
|
pl |
|
zmiana grubości całkowita, f
TTV |
|
pt |
|
variação total da espessura |
|
zh |
|
总厚度偏差
TTV |