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Area Industrial electroheat / General concepts relating to electro heat equipment, characteristic values and applications

IEV ref 841-22-12

en
sputtering
processes of forming films in which ion bombardment or other application of energy is used to extract particles from a solid source to be deposited on a nearby surface

[SOURCE: 521-03-17 MOD]


fr
pulvérisation sous vide, f
procédé de formation de couches minces par lequel un bombardement d’ions ou une autre énergie est utilisé pour extraire des particules d’une source solide qui se déposent ensuite sur une surface proche

[SOURCE: 521-03-17 MOD]


ar
رشّ (تحت التفريغ)

de
Sputtern, n
Zerstäuben, n

es
pulverización al vacío

it
polverizzazione ionica

ko
박막증착

ja
スパッタリング

pl
rozpylanie

pt
pulverização sob vácuo

sr
распршавање, с јд

sv
partikeldeponering

zh
溅射

Publication date: 2004-09
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