International
Electrotechnical
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Area
Industrial electroheat
/ General concepts relating to electro heat equipment, characteristic values and applications
IEV ref
841-22-12
en
sputtering
processes of forming films in which ion bombardment or other application of energy is used to extract particles from a solid source to be deposited on a nearby surface
[SOURCE: 521-03-17 MOD]
fr
pulvérisation sous vide
, f
procédé de formation de couches minces par lequel un bombardement d’ions ou une autre énergie est utilisé pour extraire des particules d’une source solide qui se déposent ensuite sur une surface proche
[SOURCE: 521-03-17 MOD]
ar
رشّ (تحت التفريغ)
de
Sputtern, n
Zerstäuben, n
es
pulverización al vacío
it
polverizzazione ionica
ko
박막증착
ja
スパッタリング
pl
rozpylanie
pt
pulverização sob vácuo
sr
распршавање, с јд
sv
partikeldeponering
zh
溅射
Publication date:
2004-09
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©
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